瑞士半導體行業調平用WYLER電子水平儀
精度1um/m,型號:016R150-122-001是MINILEVEL NT和LEVELTRonIC NT型號的延伸,適用于小角度測量、平面測量、垂直度測量(直角式)、機床幾何誤差測量。全新的、密封且充滿氣體的感應部件采用高科技的電子和陶瓷作為基礎材料,儀器的核心元件-傳感器進一步的增強性能,使得儀器在濕度很大等惡劣工廠環境下仍可*的使用。
半導體行業調平用WYLER電子水平儀
精度1um/m,最近幾年,型號有所變更,只要是廠家的升級換代,編號由016F150-122-001 到 016S150-122-001 到 016R150-122-001
由016F150-243-001 到 016S150-243-001 到 016R150-243-001
新款BLUELEVEL Ⅱ代電子水平儀,相比一代的藍牙傳輸功能升級,更穩定
同個產品,只是編號有所改變,功能沒有任何區別。
瑞士WYLER 新型二代藍牙電子水平儀,型號:016R150-122-001主要特點:
反應腔室調平:確保等離子體均勻分布,避免刻蝕速率不均(如邊緣與中心差異)。
晶圓承載臺校準:雙軸同步測量可優化承載臺水平度,減少刻蝕偏差,提升良率。
CMP(化學機械拋光):拋光平臺的水平度直接影響晶圓表面平坦度。
晶圓鍵合機:在 3D NAND 等堆疊工藝中,確保鍵合界面對準精度
半導體行業要求高,對于精度和穩定性以及準確性要求很高,WYLER bluelevel電子水平儀源自瑞士,質量可靠,獲得了眾多半導體行業客戶的青睞,如ASML/上海微電子/村田半導體等。
CH-8405瑞士丹青WYLER BlueLevel電子水平儀技術參數:
測量面類型 | 平面型、V型直角型等底板可選 |
底板長度 | 110mm、150mm、200mm |
測量范圍 | ±20mm/m ±100mm/m ±200mm/m |
分辨率 | 1um/m 5um/m 10um/m |
0.2角秒 1角秒 2角秒 | |
測量誤差<.5全量程 (DIN2276) | 1%of當前測量值+小數顯位 |
測量誤差>.5全量程(DIN2276) | 1%of(2 X當前測量值-0.5X全量程 |
顯示時間 | 約3秒 |
水平儀重量 | 約1200 |
控制器重量 | 約775 |
水平儀尺寸 | 150*45*150 |
控制器尺寸 | 140*100*15 |
輸出端口 | RS-485 |